根據內部結構分析，氣缸中的主要部件有:缸筒、端蓋、活塞、活塞桿和密封件。氣缸的內徑代表氣缸的實際輸出力。正常情況下，活塞應在缸筒內平穩滑動，缸筒內表面的表面粗糙度應達到ra0.8μm。

同時，端蓋也是一個重要的部件。通常，端蓋上設有相應的進氣口和排氣口，其中一些還在端蓋內設有緩沖機構。桿側端蓋上設有密封圈和防塵圈，以避免活塞桿漏氣，防止外部灰塵混入氣缸。桿側端蓋上設有導向套，可以提高導向精度，同時承受活塞桿上的部分橫向載荷，減少活塞桿伸出時的向下彎曲量，延長氣缸的使用壽命。

在氣缸中，導套組件通常由燒結含油合金和向前傾斜的銅鑄件制成。同時，為了減輕重量，達到防銹效果，端蓋主要采用鋁合金壓鑄，微型氣缸采用黃銅材料。

另外，活塞是整個設備中重要的承壓部件。同時，為了避免活塞的左室和右室之間的相互漏氣，提供了活塞密封環。活塞上的耐磨環可以改善氣缸的導向性能，減少活塞密封圈的磨損，降低摩擦阻力。耐磨環通常由聚氨酯、聚四氟乙烯、層壓合成樹脂等材料制成。活塞的寬度由密封圈的尺寸和所需滑動部件的長度決定。滑動部分太短，容易造成早期磨損和卡死。

另一個重要部件是活塞桿，它是氣缸中重要的受力部件。活塞桿一般由表面鍍硬鉻的高碳鋼或不銹鋼制成，以防止腐蝕和提高密封圈的耐磨性。